INFICON的冷陰極和皮拉尼的復(fù)合真空規(guī) MPG400和MPG401, 測(cè)量范圍從 5x10-9毫巴至**壓(3.8 x10-9乇至**壓)。將兩種測(cè)量方式組合在一個(gè)具有對(duì)數(shù)模擬輸出的小型單元內(nèi)，大大地降低了安裝,設(shè)置和集成的復(fù)雜性。
MPG400冷陰極和皮拉尼的復(fù)合真空規(guī)的詳細(xì)介紹
優(yōu)點(diǎn)：
■ 復(fù)合真空規(guī)—冷陰極與皮拉尼
■ 寬的壓強(qiáng)測(cè)量范圍從5X10-9毫巴至**壓
■ 無(wú)可燒毀的燈絲
■ **的引燃功能
■ 易清洗
■ FPM或金屬密封的饋入件
■ 高壓加上時(shí)LED指示燈亮
■ 對(duì)數(shù)模擬輸出訊號(hào)
應(yīng)用：
■ 高真空壓強(qiáng)**
■ 蒸發(fā)和濺射系統(tǒng)的壓強(qiáng)測(cè)量
■ 一般真空測(cè)量和控制，從中至高真空范圍
技術(shù)參數(shù)：
| 測(cè)量范圍 (空氣, N2) | 毫巴(乇) | 5 x 10-9… 1000 (3.8 x 10-9… 760) | |
| 精度 (N2) 1 x 10-8 … 100毫巴 | % 讀值 | ≈±30% | |
| 重復(fù)性1 x 10-8 … 100毫巴 | % 讀值 | ≈±5% | |
| 安裝方向 | ** | ||
| 允許壓強(qiáng) | 巴(**) | ≤10 (限于惰性氣體) | |
|
允許溫度 工作 (室溫) 貯存 烘烤1) 燈絲溫度 (皮拉尼) |
°C °C °C °C |
+5 … +55 –40 … +65 150 120 |
|
| 電源電壓 | |||
| 在規(guī)管上 | V DC | +15 … +30 | |
| 在供電單元上, **大電纜長(zhǎng)度 2) | V DC | +16 … +30 | |
| 紋波 | Vpp | ≤1 | |
| 功耗 | W | ≤2 | |
| 連接保險(xiǎn)絲 | AT | ≤1 | |
| 輸出訊號(hào)(測(cè)量訊號(hào)) | |||
| 電壓范圍 | V | 0 … +10.5 | |
| 測(cè)量范圍 | V | +1.82 … +8.6 | |
| 電壓與壓強(qiáng)的關(guān)系 | 對(duì)數(shù), 0.6 V/量級(jí) | ||
| 誤差訊號(hào) | V | <0.5 (無(wú)電源) | |
| V | >9.5 (皮拉尼傳感器, 燈絲斷裂) | ||
| 輸出阻抗 | 2 x 10 | ||
| **小負(fù)載阻抗 | k | 10, 短路保護(hù) | |
| 響應(yīng)時(shí)間 p > 10毫巴 -6 | 毫秒 | <10 | |
| p = 10-8 毫巴 | 毫秒 | ≈1000 | |
| 規(guī)管標(biāo)識(shí) | k? | 85, 參考電源公共點(diǎn) | |
| 狀態(tài) | |||
| 僅皮拉尼模式 | V | 0 (低) | |
| 復(fù)合皮拉尼 / 冷陰極模式 | V | 15 … 30 (高) | |
| 指示燈 | LED 綠色 | 高壓on | |
| 電氣連接 | FCC 68 設(shè)備連接件, 8腳,凹型 | ||
| 傳感器電纜 | 8芯,加屏蔽 | ||
| 電纜長(zhǎng)度 | 米 | ≤50 (8 x 0.14 毫米2) | |
| 工作電壓 | 千伏 | ≤3.3 | |
| 工作電流 | 微安 | ≤500 | |
| 暴露于真空的材料 | 不銹鋼, Al2O3, FPM75, Mo, Ni, Au, W | 不銹鋼, Al2O3, Ag, Cu, Sn Mo, Ni, Au, W | |
| 內(nèi)容積 | 厘米3 | ≈20 | |
| 重量 | |||
| DN 25 ISO-KF | 克 | ≈700 ≈730 | |
| DN 40 ISO-KF | 克 | ≈720 ≈750 | |
| DN 40 CF-F | 克 | ≈980 ≈1010 | |
| 保護(hù)級(jí)別 | IP 40 | ||
| 標(biāo)準(zhǔn) | EN 61000-6-2, EN 61000-6-3, EN 61010-1 | ||
